Варианты: Битый архив, попробуйте перезакачать то, что вы распаковываете из другого источника. Старый архиватор — попробуйте обновить. Закончилось место на винте. Повредился распаковщик Inno Setup. Попробуйте обновить его библиотеки отсюда. Так или иначе ошибка unarc.dll чаще всего бывает связана именно с повреждением самого архива (может быть не до конца скачен).